产品[
日本YAMATO等离子清洗机PC1000-5030
]资料
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产品名称:
日本YAMATO等离子清洗机PC1000-5030
产品型号:
PC1000-5030
产品展商:
安捷来国际股份（香港）有限公司
简单介绍
大型等离子清洗机PC1000-5030
日本YAMATO等离子清洗机PC1000-5030 的详细介绍
| PC1000-5030 | 
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Specifications |
| Model | PC1000-5030 |
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| Plasmamethod | RIE • DP | | Electrode | Parallelflatstageplate | | RFgenerator | 100~1000W | | Oscillationfrequency | 13.56MHz | | Controlsystem | LCDTouchpanelwith PLC | | Chambersize | (W)600×(D)370×(H)145mm | | Stage size | (W)500×(D)300mm | | Chambermaterial | Aluminum | | Reactiongas | O2,Ar,CF4,C5F8,SF6 or others | | Purge gas | N2orDryair | | Flow meter | Mass flowcontrol2line | | Vacuumpump | 700L/min | | Gas system | 2line(Reactiongas) , 1 line (Purge gas) | | Externaldimension | (W)900×(D)950×(H)1,530mm | | Powersupply | AC200/220/380V3phase 25A |
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