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产品[

日本YAMATO等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS

]资料
如果您对该产品感兴趣的话,可以 sendmsg
产品名称: 日本YAMATO等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS
产品型号: V1000/V1000X/V1000XS
产品展商: YAMATO
产品文档: 无相关文档
简单介绍
日本yamato等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS是大型等离子清洗机 是一种利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。


日本YAMATO等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS的详细介绍

 日本yamato等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS是大型等离子清洗机

Plasma Cleaner
V1000/V1000X/V1000XS
Model
V1000 V1000X V1000XS
Plasma Mode
RIE and DP
RIE: Reactive Ion Etching
DP : Direct Plasma
High-frequency Output
1000W 1000W/1500W
Oscillating Frequency
13.56 MHz
Dimension of Stage(mm)
280×280 300×300 400×375

*ControlDisplay
V-1000 Control Display
Programmable control
(touch panel)

 

*Chamber
V-1000X Chamber

Purpose : RemovalofOrganic films, Surface cleaning, Surface reforming, Surfaceetchingetc.

V-1000
V-1000 Open V-1500XS


 



Specifications
Model V-1000 V-1000X V-1000XS
* PlasmaMode RIEand DP
* MainUnit
Electrodestructure Parallel flat stage plate
Stagesize 280mmW×280mmD 300mmW×300mmD(Double stage) 400mmW×375mmD
Chambersize 400mmW×400mmD×380mmH 400mmW×400mmD×380mmH 600mmW×554mmD×440mmH
Vacuumgauge Capacitance manometer
Reactiongas system Twosystems
Controller Programmable controller
Display Programmable terminal (touch panel)
* Radio-FrequencyPower Supply
Input AC200/220/380V,Three phase,
Radio-frequency output power 1,000W 1,000& 1,500W
Referenceoscillator Quartz oscillator
Oscillating frequency 13.56MHz
Matchingadjustment Automatic tuning
* Discharge System(Vacuum Pump)
Displacement 670 &1,000liters/min. 670 &1,500liters/min. 1,000 &1,500liters/min.
Inletconfiguration NW40with a flexible stainless steel hose (1 meter long)
Outletconfiguration NW40
* GasSystems
Purgegas Nitrogen (N2) and a regulator (3 kgf/cm2) withamanometer
Drivinggas Airornitrogen (N2) and a regulator (alarm contact at 10 kgf/cm2) withamanometer
Reactiongas G1 Oxygen (O2) and a mass flow controller (1000 secm)
Reactiongas G2 Argon(Ar) and a mass flow controller (100 secm)
* SafetyMechanisms
SystemProtections *Oscillator protection circuit *Front-door interlockswitch(interlocked with the startup)
*Safety switches (interlock switch on the side panels) *Vacuumleaktest function
*Air-purge end buzzer *Alarm buzzer *Emergency stoppush-buttonswitch
Actions againstatrouble of the vacuum pump Theplasma scrubber takes the counteractions listed below andshow anAlarm message on its display when something wrong happens onthevacuum pump.
*The main valve closes *The gas feed valve closes *Theisolationvalve closes
*The oscillator stops outputting *Treatment process issuspended*The Alarm buzzer starts sounding
* The alarm indicator lamp lights up to notify the trouble ofthevacuum pump
*The treatment process timer stops
* REQUIREDUTILITIES
*PowerSupply
Main unitwith vacuum pump Threephases, AC220V, 30 A, 60Hz (with an accessory power cableof 3meters long, and exposed crimp-style terminals of 8millimeterslong)
*Gases
Drivinggas Airornitrogen (N2) (Feed pressure: 5~7 kgf/cm2)
Purgegas Nitrogen (N2) (Feed pressure: 2~7 kgf/cm2)
Reactiongas G1 Oxygen (O2) (Feed pressure: 1.5 kgf/cm2)
Reactiongas G2 Argon(Ar) (Feed pressure: 1.5 kgf/cm2)
Connectionport 1/4"swagelok joint bulkhead union (SS-400-61)
  Note:Pressure regulators, filters and other protective devicesshall beprepared by others.
*Connection Diameter of the Discharge Duct (and inletPort)
Vacuumpump's inlet port NW4O(with a flexible stainless steel hose of 1 meterlong)
Vacuumpump's outlet port NW4O
Mainunit's ozone outlet port 163mmdiameter
Oscillator's ventilation port 163mmdiameter
  Note:Every port has a connector designed for a flexible hose.Connect aduct to these inlet and outletports.

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