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产品[

日本YAMATO等离子清洗机PDC210

]资料
如果您对该产品感兴趣的话,可以 sendmsg
产品名称: 日本YAMATO等离子清洗机PDC210
产品型号: PDC200/PDC210/PDC510
产品展商: YAMATO
产品文档: 无相关文档
简单介绍
日本yamato等离子清洗机PDC210 日本YAMATO小型等离子清洗机PDC210,小型台式等离子表面处理装置,以电子材料为中心,是研究开发新的适合机型


日本YAMATO等离子清洗机PDC210的详细介绍

 日本yamato等离子清洗机PDC210:

Plasma Cleaner
PDC-200/210/510
Model
200 210 510
Plasma Mode
RIE RIE/DP
RIE: Reactive Ion Etching
DP : Direct Plasma
High-frequency Output
Max.300W Max.500W
Oscillating Frequency
13.56 MHz
Dimension of Stage(mm)
250×170 410×170

Purpose :RemovalofOrganic films, Surface cleaning, Surface reforming,Surfaceetchingetc.

  • Despite being desktopmodels,theyfeature high performance, are simple to use, and canobtaindataeasily.
  • They are genuine RIE systems,andcanbe DP systems with the use of options.
PDC-210 * Interior
PDC-Interior


* Composition figure
PDC Composition figure



Specifications
Model PDC-200/210/510
* PlasmaMode PDC-200(RIEorDP)/ PDC-210(RIE and DP)
* MainUnit
Aluminumchamber Internaldimension: 400mmW×250mmD×150mmH
Electrode Parallelflatstageplate: 230mmW×170mmD
Vacuumgauge Capacitancemanometer
Reactiongas system Twosystems(Ar,O2)
Controller Programmablecontroller
Display LCDTouchpanelDisplay
* Radio-FrequencyPower Supply
Input PDC-200:AC100V,Single phase, 8A (50/60 Hz) / PDC-210: AC200V,Threephase,15A (50/60 Hz)
Radio-frequency output power PDC-200:300W/PDC-210:500W
Referenceoscillator Quartzoscillator
Oscillating frequency 13.56 MHz
Matchingadjustment Automatictuning
* Discharge System(Vacuum Pump) only PDC-210 / PDC200 Optional
Displacement Total345liters/min.
Inputpower supply Threephases,AC200V, 4A, 50/60 Hz / PDC-200Singlephase,AC100V,4A,(50/60Hz)
Inletconfiguration NW25
Outletconfiguration NW25
* GasSystems
Purgegas Nitrogen (N2)andaregulator (3 kgf/cm2) with a manometer
Reactiongas G1 Oxygen (O2)andamass flow controller (500 secm) / PDC-200:(200 secm)
Reactiongas G2 Argon (Ar)andamass flow controller (100 secm)
* SafetyMechanisms
* SystemProtections (1)WatchingVacuumPump and RF generater
Watching over current by Thermal Protector Magnetic relay.
(2) Product Quartz oscillator
When Matching unit have miss matching,protectquartzoscillator.
(3) Door Panel Inter lock
Build Inter lock switch.
* Actions againsta trouble of the vacuum pump Theplasmascrubbertakes the counteractions listed below and show anAlarmmessage onits display when something wrong happens on thevacuumpump.
*The main valve closes *The gas feed valve closes*Theisolationvalve closes *The oscillator stops outputting*Treatmentprocess issuspended *The Alarm buzzer starts sounding*Thetreatment processtimer stops.
* REQUIREDUTILITIES
* PowerSupply
Main unitwith vacuum pump

PDC-200: Single phases, AC100V,15A,50/60Hz
PDC-210: Three phases, AC200V, 15 A, 50/60Hz
(with an accessory power cable of 3 meters long,andexposedcrimp-style terminals of 8 millimeters long)

*Gases
Purgegas Nitrogen(N2)(Feedpressure: 2~7 kgf/cm2)
Reactiongas G1 Oxygen(O2)(Feedpressure: 1.5 kgf/cm2)
Reactiongas G2 Argon(Ar)(Feedpressure: 1.5 kgf/cm2)
Connectionport 1/4"swagelokjointbulkhead union (SS-400-61)
  Note:Pressureregulators, filters and other protective devicesshall bepreparedby others.
*ConnectionDiameterof the Discharge Duct (andinletPort)
Vacuumpump's inlet port NW25(withaflexible stainless steel hose of 1 meter long)
Vacuumpump's outlet port NW25
  Note:Everyporthas a connector designed foraflexiblehose.

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