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产品[

日本YAMATO等离子清洗机MPC600

]资料
如果您对该产品感兴趣的话,可以 sendmsg
产品名称: 日本YAMATO等离子清洗机MPC600
产品型号: MPC600
产品展商: YAMATO
产品文档: 无相关文档
简单介绍
日本yamato等离子清洗机MPC600 MPC600 在产品内容中有关于日本YAMATO等离子清洗机MPC600的详细介绍。


日本YAMATO等离子清洗机MPC600的详细介绍

 日本yamato等离子清洗机MPC600:

MPC600
  • RIE • DP mode
  • Electrode stage - up to6inch
  • RF power is up to MAX. 600W
  • One touch control
  • Made of quartglasschamber

Specifications

Model MPC600
Method RIE •DPmode
Electrode Aluminumroundtype
RFgenerator 50 - 600W
Oscillatingfrequency 13.56MHz
Controlsystem Digitaldisplaywith one touch operation
Chamber Adapted for 6inchwafer
Chambermaterial SUS
Reactiongas O2,Ar,CF4
Purge gas N2 orDryair
Flow meter Massflowcontrol
Vacuumpump 5000L/min
Gas system 2 line(Reactiongas) , 1 line (Purge)
Externaldimension (W)650 x (D)700x(H)1,480mm
Powersupply AC200/220/380V3phase 25A

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