产品[
日本YAMATO等离子清洗机CV600
]资料
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产品名称:
日本YAMATO等离子清洗机CV600
产品型号:
CV600
产品展商:
安捷来国际股份（香港）有限公司
简单介绍
CV600
日本YAMATO等离子清洗机CV600的详细介绍
| CV600 |  |
Specifications |
| Model | CV600 |
|---|
| Plasmamode | RIE • DP | | Electrode | Parallelflatstage plate | | RFgeneratorpower | 100 - 600W | | Oscillating | 13.56MHz | | Controlsystem | Digitaldisplayand one touch control | | Chamber | (W) 310 x (D)220x (H) 140mm | | Electrodestage | (W) 230 x(D)140mm | | Chambermaterial | SUS | | Reactiongas | O2,Ar | | Purge gas | N2 orDryair | | Flow meter | Flow meter | | Vacuumpump | Vacuumpump(120L/min) | | Gas system | 2 line andpurgeline | | Externaldimensions | (W) 480 x (D)500x(H) 1,065mm | | Powersupply(50/60Hz) | AC200/220/380VThree phase 7A |
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