ULVAC泵油清洁系统

OFC-136XA

排气速度

50Hz＝135L/min　　60Hz＝162L/min

极限压力

6.7×10⁻²Pa

水分取去量

1200mL/1滤芯

酸中和量

1.5moL/1滤芯

粒子去除精度

0.1μm

电源

100V１φ（50/60Hz）

重量

54kg

外形尺寸

280mm(长)×602mm(宽)×686mm(高)

选购件

耐腐蚀型油雾分离器 OMC-200

OFC-201XA

排气速度

50Hz＝200L/min　　60Hz＝240L/min

极限压力

6.7×10⁻²Pa

水分取去量

1200mL/1滤芯

酸中和量

1.5moL/1滤芯

粒子去除精度

0.1μm

电源

100V１φ（50/60Hz）

重量

62kg

外形尺寸

280mm(长)×630mm(宽)×686mm(高)

选购件

耐腐蚀型油雾分离器 OMC-200

UFO-003(标准滤芯)

适用真空泵容量

50L/min〜200L/min

UFO-012

适用真空泵容量

100L/min〜1000L/min

UFW-003（油水分离滤芯）

适用真空泵容量

50L/min〜200L/min

（注）

并非所有真空泵都能与UFO，UFW连接使用
部分型号需要另行购买转换接头。以上价格中不包括真空泵油。
详细规格请参照零件样本。