ULVAC排气装置

VPC-050（空冷型）

极限压力

1.5X10^-4(使用液氮时)
7.0 X 10^-4(未使用液氮时)

排气系统

●空冷油扩散泵(DPF-050)50L/sec
●油旋片泵(G-20DA)20L/min
●主阀门25A蝴蝶阀
●10A三向切换阀门
●漏阀
●真空计接口（18φ传感器用）

电源

100V1φ0.6kVA

重量

16kg

外形尺寸

346mm(长)×316mm(宽)×350mm(高)

选购件

1．液氨冷阱
2．粗测量真空计接口（18φ用）
3．带法兰软管口（VF25、O.D.10φ）
4．带法兰软管口（VF25、O.D.15φ）
5．带法兰速装连接器（VF25,KF-25）
6．油雾过滤器（OMT-050A）
7．真空计
*请根据用途挑选选购件

VPC-050A（空冷自动型型）

极限压力

1.5X10^-4(使用液氮时)
7.0 X 10^-4(未使用液氮时)

排气系统

●空冷油扩散泵(DPF-050)50L/sec
●油旋片泵(G-20DA)20L/min
●主阀门25A蝴蝶阀
●10A三向切换阀门
●漏阀
●真空计接口（18φ传感器用）

电源

100V1φ0.6kVA

重量

16kg

外形尺寸

346mm(长)×316mm(宽)×350mm(高)

选购件

1．液氨冷阱
2．粗测量真空计接口（18φ用）
3．带法兰软管口（VF25、O.D.10φ）
4．带法兰软管口（VF25、O.D.15φ）
5．带法兰速装连接器（VF25,KF-25）
6．油雾过滤器（OMT-050A）
7．真空计
*请根据用途挑选选购件

VPC-250F（空冷型）

极限压力

10^-5(使用液氮时)
10^-4(未使用液氮时)

排气系统

●空冷油扩散泵(DPF-050)200L/sec
●油旋片泵(G-100D)100L/min
●主阀门25A蝴蝶阀
●20A三向切换阀门
●漏阀（气体导入兼用）
●真空计接口（18φ传感器用）

电源

100V1φ1.35kVA

重量

50kg

外形尺寸

530mm(长)×480mm(宽)×735mm(高)

选购件

1．液氨冷阱
2．油雾过滤器（OMT-100A）
3．排气口过滤器（OMI-100）
4．真空计
*请根据用途挑选选购件

VPC-400（水冷型）

极限压力

1.5X10^-5(使用液氮时)
7.0 X 10^-4(未使用液氮时)

排气系统

●空冷油扩散泵（３英吋）400L/sec
●油旋片泵（GLD-201A）200L/min
●主阀门25A蝴蝶阀
●20A三向切换阀门（粗抽、辅助抽切换用）
●漏阀（气体导入兼用）
●真空计接口（18φ传感器用）

电源

200V3φ1.36kVA

所要水量

2L/min

重量

16kg

外形尺寸

530mm(长)×480mm(宽)×780mm(高)

选购件

1．液氨冷阱
2．油雾过滤器
3．排气口过滤器
4．真空计
*请根据用途挑选选购件

VPT-050

极限压力

1.3X10^-4

排气系统

●涡轮分子泵50L/sec
●油旋片真空泵GVD-050A
（50L/min，代防返油阀）
●主阀门（插板阀）65A
●真空计接口(18φ传感器用2个)
●放气用阀门(气体导入兼用 1个)
　 SS角钢制 喷漆处理
●主开关TMPPowerSupply
●R.P.油泵用开关

电源

100V1φ0.75kVA

重量

45kg

外形尺寸

325mm(长)×450mm(宽)×700mm(高)

选购件

1．油雾过滤器
2 ．各种真空计
*请根据用途挑选选购件