极限压力 | 8.0X10-2(使用液氮时) | 排气速度 | 10m3/h
（at1.3×101Pa） | 排气系统 | ●罗茨泵
（MBS-010）10m3/h
●油旋片真空泵
（GVD-050A）50L/min
●漏阀
●真空计接口
(18φ传感器用) | 电源 | 100V１φ0.75kVA | 重量 | 26kg | 外形尺寸 | 430mm(长)×250mm(宽)×523mm(高) | 选购件 | 1．油雾过滤器
（OMT-050A）
*请根据用途挑选选购件 |
| 极限压力 | 6.0X10-2(使用液氮时) | 排气速度 | 30m3/h
（at1.3×101Pa） | 排气系统 | ●罗茨泵
（MBS-030）30m3/h
●油旋片真空泵
（GLD-136C）135L/min
●漏阀
●真空计接口
(18φ传感器用) | 电源 | 100V１φ1.5kVA | 重量 | 43kg | 外形尺寸 | 633mm(长)×250mm(宽)×651mm(高) | 选购件 | 1．油雾过滤器
（OMT-200A）
2．排气口过滤器
（OMI-200）
*请根据用途挑选选购件 |
| 极限压力 | 6.0X10-2(使用液氮时) | 排气速度 | 50m3/h
（at1.3×101Pa） | 排气系统 | ●罗茨泵
（MBS-050）50m3/h
●油旋片真空泵
（GLD-201B）200L/min
●漏阀
●真空计接口
(18φ传感器用) | 电源 | 100V１φ1.5kVA | 重量 | 49kg | 外形尺寸 | 643�mm(长)×250�mm(宽)×689mm(高) | 选购件 | 1．油雾过滤器
（OMT-200A）
2．排气口过滤器
（OMI-200）
*请根据用途挑选选购件 |
| 
VPM-010 |