极限压力 | 8.0 X10-2(未使用液氨时) | 真空室 | 供给连接系统预留16个接口+钟罩 | 基板电极 | 4点式(2点切换+2点切换) | 蒸发电源 | DC10V-40A、400W・２式(数字表示) | 膜厚监测器 | 水晶振动式膜厚控制器 CRTM-9000 | 真空泵 | 皮拉尼真空计GP-1S、电离真空计GI-TL3 | 排气系统 | 涡轮分子泵
300L/s（UTM-300)
油旋片真空泵
200L/min（GLD-201A） | 本体尺寸
(mm) | 530�(长)×480(宽)×1180(高） | 重量 | 80kg(主机) | 电力 | 1φ 100V1.6kVA、
3φ 200V 1.2kVA | 选购件 | 改变电极构成、温度监测器(基板、蒸发盘)、改变真空计、挡板、改变排气系统真空泵(涡旋型干泵、油扩散泵、低温泵)、其它 |
| 极限压力 | 4.0 X10-4(未使用液氨时) | 真空室 | 供给连接系统预留16个接口+钟罩 | 基板电极 | ２点切换式 | 蒸发电源 | AC10V-150A、1.5kW・ １式（仿真表示） | 膜厚监测器 | 水晶振动式膜厚控制器 CRTM-6000 | 真空泵 | 皮拉尼真空计GP-1S、电离真空计GI-TL3 | 排气系统 | 涡轮分子泵
300L/s（UTM-300)
油旋片真空泵
200L/min（GLD-201A） | 本体尺寸
(mm) | 530�(长)×480(宽)×1180(高） | 重量 | 80kg(主机) | 电力 | 1φ 100V0.8kVA、
3φ 200V 1.2kVA、
1φ 200V 2.0kVA | 选购件 | 改变电极构成、温度监测器(基板、蒸发盘)、改变真空计、挡板、改变排气系统真空泵(涡旋型干泵、油扩散泵、低温泵)、其它 |
| 极限压力 | 4.0 X10-4(未使用液氨时) | 真空室 | 真空室 带准备室的2室、带水平传送机构 | 基板电极 | 电阻加热式蒸发源、标准8点(有机膜6点、金属膜2点)
T/S间距离、250-300mm | 蒸发电源 | 有机膜用:DC400W、2个
金属膜用:AC1、5KW、1个 | 真空泵 | 蒸发室:电离真空计 GI-TL3、皮拉尼真空计GP-1S
准备室:涡旋型干式泵90L/min | 排气系统 | 蒸发室:TMP(600L/s)+涡旋型干式真空泵250L/min
准备室:涡旋型干式真空90L/min | 本体尺寸
(mm) | 1620(长)×650(宽)×1550(高）
(控制盘) | 重量 | 400kg(本体)、150Kg(控制盘) | 电力 | 1φ 100V、3kVA、
3φ 200V 、3kVA、(50/60Hz) | 特别规格 | 蒸发室(有机膜、金属膜分分割):真空3室(蒸发室2室+准备室)、基板、蒸发盘的温度测定器、追加基板收纳器、气体导入、真空排气系统变更、可动面罩、其它 |
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