ULVAC蒸发装置

VPC-1100（高速型）

极限压力

1.3X10^-4(使用液氮时)

排气时间

10分钟内可从大气压抽至10^-4Pa（使用液氮时）

玻璃罩

PYREX制耐热玻璃 φ390mm×H350�mm

蒸发用电源

0〜10V　MAX150A

排气系统

6英吋D.P.1100L/sec扩散泵(ULK-060A)
GLD-201A 2台　400L/min
6英寸液氨冷阱  

操作系统

排气手动操作

压力测定系统

皮拉尼真空计 GP-1S

电源

3φ　200V　5kVA
1φ　100V　1kVA

所要水量

200kPa1.5L/min（水温：20℃、水圧：200〜300kPa）

重量

约45kg

外形尺寸

325mm(长)×450mm(宽)×700mm(高)

附属品

3φ200V带包层接头4m
1φ 100V 带地线、带电容器

VPC-060（空冷型）

极限压力

6.6X10^-4(使用液氮时)

排气时间

20分钟内抽至1.3X10^-3Pa(使用液氮时)

蒸发用电源

0〜10V　MAX150A

所要电力

100V１φ0.6kVA(主机)
200V１φ2.0kVA(蒸发用电源)

蒸发电极

1点式

重量

22kg

外形尺寸

350mm(长)×320mm(宽)×662mm(高)

选购件

1．夹具
2．钟罩套
3．油雾过滤器(OMT-050A)
4．真空计
*请根据用途挑选选购件

VPC-060A（空冷自动型）

极限压力

6.6X10^-4(使用液氮时)

排气时间

20分钟内抽至1.3X10^-3Pa(使用液氮时)

蒸发用电源

0〜10V　MAX150A

所要电力

100V１φ0.6kVA(主机)
200V１φ2.0kVA(蒸发用电源)

蒸发电极

1点式

重量

22kg

外形尺寸

350mm(长)×320mm(宽)×662mm(高)

选购件

1．夹具
2．钟罩套
3．油雾过滤器(OMT-050A)
4．真空计
*请根据用途挑选选购件

VPC-260F（空冷型）

极限压力

6.6X10^-4(使用液氮时)

排气时间

20分钟内抽至1.3X10^-3Pa(使用液氮时)

蒸发用电源

0〜10V　MAX150A

所要电力

100V１φ1.35kVA(主机)
200V１φ2.0kVA(蒸发用电源)

蒸发电极

1点式

重量

75kg

外形尺寸

530mm(长)×480mm(宽)×1135mm(高)

选购件

1．2点式蒸发电极
2．特殊2点式蒸发电极
3．3点式蒸发电极
4．钟罩套
5．钟罩升降机构
6．金属钟罩ABCD型
7．基板加热组（〜350℃MAX）
8．石墨电极器
9．内部夹具
10．油雾过滤器（OMT-100A）
11．排气口过滤器（OMI-100）
12．真空计
*请根据用途挑选选购件

VPC-410（水冷型）

极限压力

6.6X10^-4(使用液氮时)

排气时间

8分钟内抽至1.3X10^-3Pa(使用液氮时)

蒸发用电源

0〜10V　MAX150A

所要电力

200V３φ1.35kVA(主机)
200V１φ2.0kVA(蒸发用电源)

蒸发电极

1点式

所要水量

2L/min

重量

80kg

外形尺寸

530mm(长)×480mm(宽)×1180mm(高)

选购件

1．2点式蒸发电极
2．特殊2点式蒸发电极
3．3点式蒸发电极
4．钟罩套
5．钟罩升降机构
6．金属钟罩ABCD型
7．基板加热组（〜350℃MAX）
8．石墨电极器
9．内部夹具
10．油雾过滤器（OMT-200A）
11．排气口过滤器（OMI-200）
12．真空计
*请根据用途挑选选购件