ULVAC溅射装置

RFS-200

靶材尺寸

φ80厚度1-5mm

真空室

200mm(长)×250mm(宽)×150mm(高）
SUS・304制 前面开门

基板电极

φ80Cu制 加热。冷却式

靶电极

φ80Cu制 冷却

挡板

φ95厚度1mm手动操作

RF电源

200W×13.56MHz 带与RF电源匹配的电路

基板加热电源

管加热器加热自动温调MAX350℃
温度指示计 (数字型)

排气系统

F-250油扩散泵（240L/sec）
油旋片真空泵G-100D（100L/min）
主阀2。5英寸蝶阀
水冷阀 三向切换阀 皮拉尼真空计(数字型２点式)

本体尺寸

800mm(长)×630mm(宽)×1450mm(高）

重量

200kg

电力

100V　1φ　1.3kVA

RF电力

100V　1φ　0.5kVA

冷却水用量

0.2MPa　5L/min　25℃以下

选购件

液氨冷阱、磁控管、电离真空计、追加气体导入、排气口过滤器、基板加热650C

性能

极限压力

6.7X10^-4

排气时间

10^-3Pa/5min

基板加热温度

MAX350℃

溅射压力

10^-1PaAr气体

靶材

导体
半导体
绝缘体

Al、Cu、Au、Cr等
Si、Ge、Se等
SiO₂、Al₂O₃ 等　

SCOTT-C1

基板尺寸 数量

φ4英寸 （φ100mm）×t＝1mm、1个

有效成膜范围

φ50mm

RF电源

Max300W（40〜300W可变）

成膜速度

SiO₂成膜时、大于30nm/min

膜厚分布

SiO₂成膜时、50mm+-10%以内

真空室极限压力

6.6X10^-4

排气时间

5分钟内从大气压抽至6。6X10^-3Pa

基板加热温度

Max350℃(水冷)

基板电极间距离

60mm

外形尺寸

1120mm(长)×704mm(宽)×1262mm(高）

装置重量

约500kg

消耗电量

1φ100V（50/60Hz）3.0kVA

消耗水量

约8L/min(水温:25C以下、水压:200Kpa)

蚀刻分布

用酸化膜磈片时、70mm+-10%以内

选购件

追加气体导入、质量流量控制器、基板加热600C (水冷)、DC电源

SCOTT-C3

基板尺寸 数量

φ2英寸 （φ50.8mm）×t＝1mm、1个

有效成膜范围

φ25mm

RF电源

Max300W（40〜300W可变）

成膜速度

SiO₂成膜时、大于30nm/min

膜厚分布

SiO₂成膜时、25mm+-10%以内

真空室极限压力

6.6X10^-4

排气时间

5分钟内从大气压抽至6。6X10^-3Pa

基板加热温度

Max350℃(基板水冷机构:无)

基板动作

手动调节 3点指针旋转 (约300度角)

基板电极间距离

50mm〜90mm（可变：半固定）

外形尺寸

1100mm(长)×700mm(宽)×1070mm(高）

装置重量

约400kg

消耗电量

1φ100V（50/60Hz）3.0kVA

消耗水量

2L/min(水温:25C以下、水压:200Kpa)

选购件

刻蚀机构 (洗净)、追加气体导入、质量流量控制器、
基板加热350C(水冷)600C无水冷、DC电源

VPS-020

标准靶材

φ49Au1个 (镀膜用)
φ49 Al 1个1个 (刻蚀用)

试料台

φ70(高度调节范围15mm、20mm、60mm)

真空槽

φ120(深度120mm)不锈钢制

油旋片泵

G-20DA型（20L/min）

高压电源

1kV/0〜20mA(带电流计、内置安全电路)

镀膜方式

AC/DC

刻蚀方式

AC/DC

时间

0〜15min、连续可变

气体调节机构

针阀

电源

100V１φ0.4kVA

重量

8.5kg

外形尺寸

160mm(长)×365mm(奥行)×317mm(高)

选购件

1．靶材 Pt-Pd、Ag其它
2．油雾过滤器(OMT-050A)
*请根据用途挑选选购件

VPS-050

标准靶材

φ109Au1个 (镀膜用)
φ109 Al 1个1个 (刻蚀用)

试料台

φ100(高度调节范围15mm、20mm、60mm)

真空槽

φ240(深度120mm)不锈钢制

油旋片泵

G-100D型（100L/min）　选购件

高压电源

1kV/0〜20mA(带电流计、内置安全电路)

镀膜方式

AC/DC

刻蚀方式

AC/DC

时间

0〜15min、连续可变

气体调节机构

针阀

电源

100V１φ0.5kVA

重量

20kg

外形尺寸

282mm(长)×485mm(奥行)×440mm(高)

选购件

1．靶材 AU、 Pt-Pd、Ag其它
2．油雾过滤器(OMT-050A)
*请根据用途挑选选购件