特性
ULVAC机工的直联型油旋片式真空泵，是由叶片旋转工作的盖德式真空泵。泵油的作用是润滑旋转机件、密封真空泵箱，
从而达到优良、可靠、稳定的真空。小型直联泵与皮带泵相比，有启动快速、排气迅捷的优点。G系列有一段式和两段式
两种类型，排气速度在5L/min.至100L/min.的范围内。
使用指导
1.保证在任何时候都保持正确的油量和良好的状况。
2.结束排气之前，应先向大气开放，使泵油的蒸汽回流。(请咨询我们以获取使用上的帮助)
3.当真空泵长时间运转至超过0.1Mpa时，排气口可能有油雾排出。安装油雾捕集器(OMT系列)，
或油雾分离器(OMT系列)，能减少环境污染。
4.油旋片真空泵不适用于在大气压附近连续运转。
应用
1.科学与化学试验，分析装置，镭射相关装置。
2.小型食品包装机械，真空模型机械。
3.高真空排气系统，电子显微镜系统前级泵，半导体生产系统。
4.真空沉淀系统，冷冻干燥系统。
5.医疗器械设备。
型 号 | 排气速度
*1 | 极限压力 | 电源 | 重量 | 吸气管
*2 | *大尺寸 | 机能 | 单位 | L/min | Pa | - | kg | mm | mm | - | G-5 | 5 | 4.0×103 | 1φ
100V/220V | 2.5 | 12×6 | 80.0×199.0×156.0 | 带过热保护器 | 6 | G-5DA | 5 | 6.7 | 1φ
100V/200V/220V | 5.0 | 12×6 | 130.0×203.0×159.5 | 带过热保护器 | 6 | G-10DA | 10 | 1.3 | 1φ
100V/200V/220V | 5.5 | 18×14 | 130.0×228.0×165.0 | 带过热保护器 | 12 | G-25SA | 20 | 9.3 | 1φ
100V/200V/220V | 8.5 | 18×14 | 156.0×288.0×199.5 | 带过热保护器 | 24 | G-20DA | 20 | 1.3×10-1 | 1φ
100V/200V/220V | 9.0 | 18×14 | 156.0×299.5×199.5 | 带过热保护器 | 24 | G-50SA | 50 | 9.3 | 1φ
100V/200V/220V | 11.0 | 18×14 | 156.0×344.5×199.5 | 带过热保护器
带防返油机构 | 60 | G-50DA | 50 | 1.3×10-1 | 1φ
100V/200V/220V | 11.0 | 18×14 | 156.0×344.5×199.5 | 带过热保护器 | 60 | G-100S | 100 | 9.3 | 1φ
100V/200V/220V | 21.6 | 27×20 | 173.5×460.5×264.0 | 带过热保护器
带防返油机构 | 120 | G-100D | 100 | 6.7×10-2
（带气镇阀 开） | 1φ
100V/200V/220V | 22.4 | 27×20 | 173.5×460.5×264.0 | 带过热保护器
带气镇阀 | 120 |
|
G-5DA
G-20DA
G-50SA
G-100S
|
特性
GLD系列，具有低振动，低噪音及以下优良性能：
1.气镇阀能防止蒸汽(例如水蒸汽)凝缩在泵油内。
2.强制给油机构能保证从大气到高真空的整个排气过程中，保持油润滑和内部密封。
3.逆流防止装置在断电时能保护真空箱。低温确保了真空泵创造良好的真空度。强制的油过滤器可滤出泵油的杂质，
通过大型刻度易读的油量计，可以随时检查泵油的状况。
GLD-136A GLD-136C GLD-201A GLD-201B 特点
1.该系列是在GLD系列上装配了宽电压马达，适用于全球范围，有单相和三相两种可供选择。
2.只需简单地改变接线方式，就能应用于不同电压，不必再根据使用地点的不同，为真空泵配备不同的马达。
3.单相可用于100V—120V或200V—240V。带有与GLD系列相同的气镇阀，逆流防止功能和大型油量计。
是CE自我认证产品。
使用指导
GLD系列与G系列相比性能有显著的提高。为了发挥其优良性能，请注意以下几点：
1.GLD系列可适用于广泛领域，能获得极低的真空(10-2Pa)，配置KF法兰和各种管道可获得高真空。
2.油旋片真空泵并不适用于在大气压附近连续运转。
应用
1.物理和化学试验，分析装置，镭射相关装置。
2.高真空排气系统和电子显微镜的前级泵系统。
3.半导体生产系统，溅射系统，真空蒸发系统。
4.真空干燥，冷冻干燥系统。
型 号 | 排气速度
*1 | 极限压力 | 电源 | 重量 | 吸气管
*2 | *大尺寸 | 机能 | 单位 | L/min | Pa | - | kg | mm | mm | - | GVD-050A | 50 | 6.7×10-2
6.7
（带气镇阀 开） | 1φ
100V/200V/220V | 13.7 | 18×14 | 160.0×415.5×236.0 | 带过热保护器
带气镇阀
带防返油机构 | 60 | GLS-051 | 50 | 9.3 | 1φ
100V/200V/220V | 13.0 | KF-25 | 165.5×365.0×222.7 | 带过热保护器
带气镇阀
带防返油机构 | 60 | GLD-040 | 40 | 6.7×10-2
6.7
（带气镇阀 开） | 1φ200-240V
1φ100V | 16.0 | KF-25 | 150.0×427.0×228.5 | 带过热保护器
带气镇阀
带防返油机构
宽电压马达 | 48 | GLD-051 | 50 | 6.7×10-2
6.7
（带气镇阀 开） | 1φ
100V/200V/220V | 14.0 | KF-25 | 165.5×399.0×222.5 | 带过热保护器
带气镇阀
带防返油机构 | 60 | GLD-136A | 135 | 6.7×10-2
6.7
（带气镇阀 开） | 3φ380-460V
1φ100-120V | 24.0 | KF-25 | 170.0×488.0×240.0 | 带气镇阀
带防返油机构
宽电压马达 | 162 | GLD-136C | 135 | 6.7×10-2
6.7
（带气镇阀 开） | 3φ200-240V
3φ200-240V | 26.0 | KF-25 | 170.0×488.0×250.0 | 带过热保护器
带气镇阀
带防返油机构
宽电压马达 | 162 | GLD-201A | 200 | 6.7×10-2
6.7
（带气镇阀 开） | 3φ200-240V
3φ380-460V | 28.0 | KF-25 | 170.0×516.0×240.0 | 带气镇阀
带防返油机构
宽电压马达 | 240 | GLD-201B | 200 | 6.7×10-2
6.7
（带气镇阀 开） | 1φ200-240V
1φ200-240V | 28.0 | KF-25 | 170.0×516.0×250.0 | 带过热保护器
带气镇阀
带防返油机构
宽电压马达 | 240 | GLD-280 | 280 | 6.7×10-1
（带气镇阀 开） | 3φ200-240V
3φ380-460V | 32.0 | KF-25 | 181.0×544.0×269.0 | 带气镇阀
带防返油机构
宽电压马达 | 336 |
|
GLD-051
GLD-136C
GLD-201A
GLD-280
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化学型 | 在高性能的GLD系列的基础上，具有更高耐腐蚀性的化学型真空泵 |
特性
ULVAC机工的GCD系列直联型油旋片式真空泵，具有耐腐蚀性，可用于对有毒气体和腐蚀性气体的排气，适用于
化学，半导体和生化行业。共有三种机型，排气范围在50L/min.至200L/min.之间。
使用指导
1.GCD系列真空泵请使用合成泵油(SOM)。
2.对任何有毒或腐蚀性气体排气前请咨询当地销售商。
3.油旋片真空泵并不适用于在大气压附近连续运转。
应用
1.半导体业界 2.化学业界 3.化学处理后干燥 4.生化业界 5.防污染耐酸性处理
型 号 | 排气速度
*1 | 极限压力 | 电源 | 重量 | 吸气管
*2 | *大尺寸 | 机能 | 单位 | L/min | Pa | - | kg | mm | mm | - | GCD-051X | 50 | 6.7×10-2
6.7
（带气镇阀 开） | 1φ
100V/200V/220V | 14.1 | KF-25 | 165.5×423.0×222.7 | 带过热保护器
带气镇阀
带防返油机构 | 60 | GCD-136X | 135 | 6.7×10-2
6.7
（带气镇阀 开） | 1φ
100V/200V/220V | 25.4 | KF-25 | 170.0×493.0×241.1 | 带过热保护器
带气镇阀
带防返油机构 | 162 | GCD-201X | 200 | 6.7×10-2
6.7
（带气镇阀 开） | 3φ200V
3φ220V | 26.6 | KF-25 | 170.0×509.5×241.1 | 带过热保护器
带气镇阀
带防返油机构 | 240 |
|
GCD-051X
GCD-136X
|
高速回转紧密型 | 2极马达高速旋转，1段泵体小型轻量的紧密型真空泵 |
特性
ULVAC机工的GHD系列直联型油旋片式真空泵，有以下优良配置：逆流防止阀、气镇阀、强制给油和过热保护
装置。GHD系列真空泵外形小巧、低噪音、低振动，适合于内置式或桌面上使用。
使用指导
GHD系列拥有比G系列更为优越的性能，但是在应用上需注意以下几点：
1.GHD系列可适用于广泛领域，能获得极低的真空(10-2Pa)，并使用KF法兰以便获得高真空。为发挥*大性能请
使用高真空法兰。
2.GHD系列并不适用于有毒或腐蚀性气体(请选择GCD系列)。
3.油旋片真空泵并不适用于在大气压附近连续运转。
应用
1.科学与化学试验，分析装置，镭射相关装置。2.高真空排气系统。 3.电子显微镜的前级泵系统。 4.检漏。
型 号 | 排气速度
*1 | 极限压力 | 电源 | 重量 | 吸气管
*2 | *大尺寸 | 机能 | 单位 | L/min | Pa | - | kg | mm | mm | - | GHD-030 | 30 | 6.7×10-2
6.7
（带气镇阀 开） | 1φ
100V/200V/220V | 8.7 | KF-16 | 120.0×278.5×166.0 | 带过热保护器
带气镇阀
带防返油机构 | 36 | GHD-060 | 60 | 6.7×10-2
6.7
（带气镇阀 开） | 1φ
100V | 14.0 | KF-25 | 132.0×323.0×217.0 | 带过热保护器
带气镇阀
带防返油机构 | 72 | GHD-120 | 120 | 6.7×10-2
6.7
（带气镇阀 开） | 1φ
100V/220V | 16.0 | KF-25 | 132.0×367.0×217.0 | 带过热保护器
带气镇阀
带防返油机构 | 144 |
|
GHD-030
GHD-120
|
*1 : | 排气速度:上栏为50Hz时的实际排气速度,下栏为60Hz时的实际排气速度。 |
*2 : | 吸气管的表示方法为,外径X内径(内螺纹尺寸),或者为法兰尺寸 |
*3 : | 如需要三相电源，请闻讯。 |
* | 如需要记载之外的电源，请闻讯。 |