真空雰囲気下での加熱処理を目的とし、耐熱圧力容器内にシーズヒータを3ゾーン構成で配置した内熱式タイプです。主な用途としてポリイミドのハードベーク、プラスチックパッケージの脱脂、ウェーハの乾燥/ベークなどがあります。またマッフル外周のエアジャケットにフレッシュエアーを導入、降温時間の短縮が可能です。
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タクトタイムを短縮した高能率タイプ
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高精度な3ゾーン個別制御
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冷却ブロアを標準装備
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ステンレスマッフルを装備
ポリイミドのハードベーク、プラスチックパッケージの脱脂、ウェーハの乾燥・ベーク
真空度に応じたポンプ選択が可能
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SHB-8810-5VC |
*高使用温度(注1) |
500℃ |
常用使用温度範囲(注1) |
250~480℃ |
温度制御 |
プログラマ |
設定精度 |
±0.1%FS±1digit |
記憶容量 |
19パターン (30セグメント/1パターン) |
調節動作 |
オートチューニング付PID制御 |
ヒータ出力 |
5.0kW(at 200V) |
熱電対 |
K |
外形寸法(mm) |
1000(W)×1570(H)×1300(D) |
マッフル内有効寸法(mm) |
200(W)×200(H)×250(D) |
炉内耐荷重 [等分布荷重] |
20kg |
ブレーカー容量 |
AC200V 40A 3相 50/60Hz |
過熱防止計 |
標準装備 |
電動機過負荷保護器 |
標準装備 |
冷却水断水検知器 |
標準装備 |
ガス圧力低下検知器 |
標準装備 |
(注1) マッフル内制御点での値を示す。
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安捷来国际
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