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产品[

高温循环装置 加热温度控制器

]资料
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产品名称: 高温循环装置 加热温度控制器
产品型号: TEX-25A
产品展商: 日本TAITEC
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简单介绍
高温循环装置 加热温度控制器 TEX-25A ·氟作为专用热媒、控制循环装置加热温度 ·半导体制造装置的加热温度控制 ·化学制品的生产系统加热温度控制 ·无液漏之忧的泵,通过逆变器进行控制


高温循环装置 加热温度控制器的详细介绍

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高温循环装置 加热温度控制器

TEX-25A

氟作为专用热媒、控制循环装置加热温度



主要用途

●半导体制造装置的加热温度控制
●化学制品的生产系统加热温度控制

 

主要特点

氟作为专用热媒,控制高温度领域

氟作为热媒介专用设计,可在+70℃~+200的高温度内准确的控制加热温度(冷却用途不能使用)

无液漏之忧的泵,通过逆变器进行控制

使用了磁铁耦合型密封泵,无液体泄漏。

可短时间内降温

冷却线圈中一次冷却水在循环时,维修保养时可在短时间降低温度。


技术参数

型号 TEX-25A
使用温度范围 +70℃~+200℃
温度调节精度 PID控制、±2.0℃(*1)
功率输出 2.5kW
泵能力 流量:10L/min(0.2MPa、60Hz時)
功率输出:0.75kW
升温/降温时间 升温時間(+70℃→+200℃):約30分(冷却水OFF)
降温時間(+200℃→+70℃):約25分(冷却水ON)
冷却水条件:約8L/min at +20℃(*2)
安全器/安全功能 漏电断路器、高温、温度异常、防止空烧、液面上限、泵超负荷
输入/输出功能 远程信号输入、加热器ON/OFF输入、冷却水ON/OFF输入、温度监视器信号输出、安全器操作信号外部输出
适用热媒体(循环液) GALDEN HT270
循环液罐容量 約3L(+备用罐:約7L)
配管连接口径(循環液出入口、一次冷却水出入口) Rc1/2、Rc1/2
外形尺寸 405×692×811Hmm
重量 約80kg
电源 三相AC200V・50/60Hz・15A
运转电流 12A
(*1)装置单体无负荷情况下,循环流量在5L/min以上。

(*2)装置单体无负荷情况下。

本产品使用环境温度范围为+7+35

●本机为大型、重量机器,运送、安装等费用需另付。



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