高温循环装置 加热温度控制器
TEX-25A
氟作为专用热媒、控制循环装置加热温度
主要用途
●半导体制造装置的加热温度控制
●化学制品的生产系统加热温度控制
主要特点
氟作为专用热媒，控制高温度领域
氟作为热媒介专用设计，可在＋70℃～＋200℃的高温度内准确的控制加热温度(冷却用途不能使用)。
无液漏之忧的泵，通过逆变器进行控制
使用了磁铁耦合型密封泵，无液体泄漏。
可短时间内降温
冷却线圈中一次冷却水在循环时，维修保养时可在短时间降低温度。
技术参数
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型号
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TEX-25A
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使用温度范围
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+70℃～+200℃
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温度调节精度
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PID控制、±2.0℃(*1)
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功率输出
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2.5kW
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泵能力
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流量：10L/min(0.2MPa、60Hz時)
功率输出：0.75kW
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升温／降温时间
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升温時間(+70℃→+200℃)：約30分(冷却水OFF)
降温時間(+200℃→+70℃)：約25分(冷却水ON)
冷却水条件：約8L/min at +20℃(*2)
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安全器/安全功能
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漏电断路器、高温、温度异常、防止空烧、液面上限、泵超负荷
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输入/输出功能
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远程信号输入、加热器ON/OFF输入、冷却水ON/OFF输入、温度监视器信号输出、安全器操作信号外部输出
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适用热媒体(循环液)
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GALDEN HT270
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循环液罐容量
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約3L(＋备用罐：約7L)
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配管连接口径(循環液出入口、一次冷却水出入口)
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Rc1/2、Rc1/2
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外形尺寸
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405×692×811Hmm
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重量
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約80kg
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电源
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三相AC200V・50/60Hz・15A
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运转电流
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12A
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(*1)装置单体无负荷情况下，循环流量在5L/min以上。
(*2)装置单体无负荷情况下。
●本产品使用环境温度范围为+7℃～+35℃。
●本机为大型、重量机器，运送、安装等费用需另付。