真空雰囲気下での加熱処理を目的とし、耐熱圧力容器内にシーズヒータを3ゾーン構成で配置した内熱式タイプです。主な用途としてポリイミドのハードベーク、プラスチックパッケージの脱脂、ウェーハの乾燥/ベークなどがあります。またマッフル外周のエアジャケットにフレッシュエアーを導入、降温時間の短縮が可能です。
タクトタイムを短縮した高能率タイプ
高精度な3ゾーン個別制御
冷却ブロアを標準装備
ステンレスマッフルを装備
ポリイミドのハードベーク、プラスチックパッケージの脱脂、ウェーハの乾燥・ベーク 
真空度に応じたポンプ選択が可能
| | SHB-8810-5VC |
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| *高使用温度(注1) | 500℃ |
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| 常用使用温度範囲(注1) | 250～480℃ |
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| 温度制御 | プログラマ |
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| 指示精度 | ±0.1%FS±1digit |
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| 記憶容量 | 19パターン (30セグメント/1パターン) |
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| 調節動作 | オートチューニング付PID制御 |
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| ヒータ出力 | 5.0kW(at 200V) |
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| 熱電対 | K |
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| 外形寸法(mm) | 1000(W)×1570(H)×1300(D) |
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| マッフル内有効寸法(mm) | 200(W)×200(H)×250(D) |
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| 炉内耐荷重 [等分布荷重] | 20kg |
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| ブレーカー容量 | AC200V 40A 3相 50/60Hz |
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| 過熱防止計 | 標準装備 |
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| 電動機過負荷保護器 | 標準装備 |
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| 冷却水断水検知器 | 標準装備 |
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| ガス圧力低下検知器 | 標準装備 |
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(注1) マッフル内制御点での値を示す。 |