KTF1100℃シリーズ・3ゾーンタイプのヒータは円筒型を採用し、熱ロスの低減を図った管状炉です。ヒータは、それぞれのゾーンを個別に制御することで均熱性の精度を向上さた管状炉です。
- 熱ロスの少ない円筒型のモルダサームヒータ※を採用 
- 3ゾーン個別制御で高精度に炉内温度を
 コントロール
 
- 過熱防止計はセンターのみ標準装備 
※モルダサームヒータ…セラミックファイバーと波形発熱体(LGO)を当社独自の真空成型法で一体化させた断熱材付きの当社製造ヒータです。モルダサームヒータは当社製造の生産用半導体装置や金属熱処理装置のヒータとしても使用されています。
 
 各種雰囲気での試作研究・開発など 各種雰囲気での試作研究・開発など
 プロセスチューブ(金属/石英/セラミック製の炉芯管)/ガス供給/プログラマ/ プロセスチューブ(金属/石英/セラミック製の炉芯管)/ガス供給/プログラマ/
 温度記録計/過熱防止計(両エンドゾーン用)
 
 
 |  | KTF453N1 | KTF773N1 | 
|---|
| *高使用温度(注1) | 1100℃ | 
|---|
| 常用使用温度範囲(注2) | 400~1000℃ | 
|---|
|
| 温度制御 | 温度調節計 | 
|---|
| 指示精度 | ±0.3%FS ±1digit | 
|---|
| 調節動作 | オートチューニング付PID制御、SSR駆動方式 | 
|---|
| 制御方法 | 3ゾーン制御 | 
|---|
| ヒータ出力 | 3.4kW(at 200V) | 8.6kW(at 200V) | 
|---|
| 熱電対 | PL-II | 
|---|
| 外形寸法(mm) | 815(W)×645(H)×445(D) | 1275(W)×760(H)×550(D) | 
|---|
| 炉内寸法(mm) | ø80×600(L) | ø154×900(L) | 
|---|
| 適用チューブ(炉芯管)外径(mm) | ø75 | ø150 | 
|---|
| 装置重量 | 40kg | 72kg | 
|---|
| ブレーカー容量 | AC200V 20A 単相 50/60Hz
 | AC200V 60A 単相 50/60Hz
 | 
|---|
| 安全装置 | 過熱防止計(センターゾーンのみ) | 
|---|
| 付属品 | 電源ケーブル3m | 
|---|
| (注1) 加熱室内制御点での値を示す。空炉・チューブなし。(注2)チューブ(炉芯管)装着時の加熱室内制御点での値を示す。
 (注3) 制御点と温度分布測定点温度にはずれがあります。記載精度は温度設定をずらせた場合のものです。
 ☆*高使用温度はオプション装備・使用条件により異なります。
 ☆熱電対は消耗品です。
 |