KTF1100℃シリーズ・3ゾーンタイプのヒータは円筒型を採用し、熱ロスの低減を図った管状炉です。ヒータは、それぞれのゾーンを個別に制御することで均熱性の精度を向上さた管状炉です。
熱ロスの少ない円筒型のモルダサームヒータ※を採用
3ゾーン個別制御で高精度に炉内温度を
コントロール
過熱防止計はセンターのみ標準装備
※モルダサームヒータ…セラミックファイバーと波形発熱体(LGO)を当社独自の真空成型法で一体化させた断熱材付きの当社製造ヒータです。モルダサームヒータは当社製造の生産用半導体装置や金属熱処理装置のヒータとしても使用されています。
各種雰囲気での試作研究・開発など
プロセスチューブ(金属/石英/セラミック製の炉芯管)/ガス供給/プログラマ/
温度記録計/過熱防止計(両エンドゾーン用)
| KTF453N1 | KTF773N1 |
---|
*高使用温度(注1) | 1100℃ |
---|
常用使用温度範囲(注2) | 400~1000℃ |
---|
|
温度制御 | 温度調節計 |
---|
指示精度 | ±0.3%FS ±1digit |
---|
調節動作 | オートチューニング付PID制御、SSR駆動方式 |
---|
制御方法 | 3ゾーン制御 |
---|
ヒータ出力 | 3.4kW(at 200V) | 8.6kW(at 200V) |
---|
熱電対 | PL-II |
---|
外形寸法(mm) | 815(W)×645(H)×445(D) | 1275(W)×760(H)×550(D) |
---|
炉内寸法(mm) | ø80×600(L) | ø154×900(L) |
---|
適用チューブ(炉芯管)外径(mm) | ø75 | ø150 |
---|
装置重量 | 40kg | 72kg |
---|
ブレーカー容量 | AC200V 20A 単相 50/60Hz | AC200V 60A 単相 50/60Hz |
---|
安全装置 | 過熱防止計(センターゾーンのみ) |
---|
付属品 | 電源ケーブル3m |
---|
(注1) 加熱室内制御点での値を示す。空炉・チューブなし。 (注2)チューブ(炉芯管)装着時の加熱室内制御点での値を示す。 (注3) 制御点と温度分布測定点温度にはずれがあります。記載精度は温度設定をずらせた場合のものです。 ☆*高使用温度はオプション装備・使用条件により異なります。 ☆熱電対は消耗品です。 |